Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (13)
-
Authors
- Воротынцев, Владимир Михайлович (2)
- Коркишко, Юрий Николаевич (2)
- Скупов, Владимир Дмитриевич (2)
- Kemme, Shanalyn A. (1)
- Акуленок, Марина Викторовна (1)
- Андреев, Владимир Михайлович (1)
- Белобровая, Ольга Яковлевна (1)
- Биленко, Давид Исаакович (1)
- Вениг, Сергей Борисович (1)
- Галперин, Вячеслав Александрович (1)
- Громов, Дмитрий Геннадьевич (1)
- Данилкин, Евгений Владимирович (1)
- Жабрев, Валентин Александрович (1)
- Карпова, Галина Вячеславовна (1)
- Магунов, Александр Николаевич (1)
- Марголин, Владимир Игоревич (1)
- Мочалов, Алексей Иванович (1)
- Полунин, Вячеслав Михайлович (1)
- Райнова, Юлия Петровна (1)
- Раков, А. В. (1)
- Ряполов, Петр Алексеевич (1)
- Стороженко, Анастасия Михайловна (1)
- Тупик, Виктор Анатольевич (1)
- Цветков, Юрий Борисович (1)
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (9)
- Читальный зал 5 (4)
- Абонемент. Депозитарий (3)
- Читальный зал. Депозитарий (3)
- Абонемент (2)
- Библиотека РФФ (1)
- Show more
- Show less
-
Item types
- Выдается в читальный зал (9)
- 6 месяцев (5)
- 1 месяц (4)
- Выдается по месту хранения (4)
- 1 неделя (1)
-
Topics
- микротехнологии (7)
- нанотехнологии (5)
- учебные пособия для вузов (5)
- интегральные микротехнологии (4)
- микроэлектроника, технологические процессы (4)
- наноэлектроника, технологические процессы (3)
- Интегральные схемы (2)
- Производство (2)
- дефектообразование в приборных структурах (2)
- дефекты в кристаллах, классификация (2)
- квантоворазмерные структуры (2)
- кремний на диэлектрике, структуры (2)
- кристаллы бездислокационные (2)
- микротехнологии в микросистемной технике (2)
- микроэлектроника (2)
- микроэлектроника, методы рентгенолитографические (2)
- микроэлектроника, методы фотолитографические (2)
- наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание (2)
- наноструктуры (2)
- нанотехнологии в микросистемной технике (2)
- наноэлектроника (2)
- осаждение диэлектрических слоев (2)
- осаждение тонких пленок (2)
- пленки тонкие, легирование термодиффузионное (2)
- пленки тонкие, распыление ионно-плазменное (2)
- подложки, поверхности (2)
- подложки, травление плазмохимическое (2)
- подложки, удаление вещества с поверхности (2)
- полупроводниковые материалы (2)
- радиационно-термические обработки (2)
- Design and construction (1)
- Microfabrication (1)
- Nanophotonics (1)
- Nanostructured materials (1)
- Nanostructures (1)
- Optical properties (1)
- Дила-Гроува модель роста оксида (1)
- КМОП-микросхемы (1)
- КМОП-технологии (1)
- Нанотехнология (1)
- Переноса явления (1)
- Плазма (физ.) неравновесная (1)
- Плазмохимические методы (1)
- Применение в радиотехнике (1)
- абразивная обработка (1)
- аморфное состояние вещества (1)
- высокочистые материалы для электронной техники (1)
- газ нейтральный (1)
- глубокая очистка (1)
- диоксид кремния, осаждение (1)
- Show more
- Show less