Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Базовые технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов

By: Воротынцев, Владимир МихайловичContributor(s): Скупов, Владимир ДмитриевичMaterial type: TextTextLanguage: Russian Publication details: Москва Проспект 2018Description: 519 с. ил., таблISBN: 13820000993296; 9785392282081Subject(s): учебные пособия для вузов | радиоэлектронная аппаратура | микроэлектроника | высокочистые материалы для электронной техники | глубокая очистка | химические методы | электрохимические методы | дистилляционные методы | кристаллизационные методы | технологические схемы | полупроводниковые подложки, обработка | полупроводниковые материалы | контроль качества подложек | полупроводники, технология получения | химическое травление полупроводников | полирование полупроводников | приборные структуры, формирование | эпитаксиальные методы | осаждение диэлектрических слоев | литографические процессы | диффузионное легирование полупроводников | ионно-лучевое легирование полупроводников | осаждение тонких пленок | радиационно-термические обработки | кремний на диэлектрике, структуры | наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание | квантоворазмерные структуры | микротехнологии в микросистемной технике | нанотехнологии в микросистемной технике | материалы микроэлектроники, структурные дефекты | дефекты в кристаллах, классификация | кристаллы бездислокационные | дефектообразование в приборных структурахOther classification: З844.1-06я73-1
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
Выдается по месту хранения Читальный зал 5 621.3 В758 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000993296

Библиогр. в конце гл.

There are no comments on this title.

to post a comment.
Share