Normal view
MARC view
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий Т. 1 в 2 т. [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко ]
Material type:
TextLanguage: Russian Series: НанотехнологииPublication details: Москва БИНОМ. Лаборатория знаний 2010Description: 392 с. рис., таблISBN: 9785996303359; 9785996303410Other title: Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова [Distinctive title]Subject(s): учебные пособия для вузов | микроэлектроника, технологические процессы | наноэлектроника, технологические процессы | подложки, фазообразования гетерогенные | наноэлектроника, физико-химические процессы | подложки, эпитаксия | подложки, поверхности | пленки тонкие, конденсация | пленки тонкие, распыление ионно-плазменное | пленки тонкие, распыление катодное | твердожидкофазные взаимодействия | подложки, окисление | подложки, перераспределение вещества | пленки тонкие, легирование термодиффузионное | пленки металлические, нанесенеие | подложки, удаление вещества с поверхности | абразивная обработка | полупроводниковые материалы, разрушение | подложки, удаление вещества с поверхности химическое | подложки, удаление вещества с поверхности вакуум-термическое | эпитаксиальные процессы, активация | микроэлектроника, технология воздействия электрических полей | микроэлектроника, технология воздействия электромагнитного излучения интенсивного | микроэлектроника, методы рентгенолитографические | микроэлектроника, методы электронолитографические | микрогетерогенные системы неравновесные, взаимодействие межфазное | электронные материалы контактирующие | микроэлектроника, методы фотолитографические | пленки оксидные | подложки, перераспределение вещества | полупроводники, легирование ионное | металлы, обработка термическая стабилизирующая | подложки, удаление вещества с поверхности механическое | подложки, вакуум-термическое испарение | подложки, травление ионно-плазменное | подложки, травление плазмохимическое | интегральные микротехнологииOther classification: З844.19-06-1с45,0 | З844.15-06-1с45,0
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-994973к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000768193 | |
| 6 месяцев | Абонемент | 62 В24 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000768194 |
Сер. осн. в 2006 г.
Библиогр.: с. 386-389
There are no comments on this title.