Научная библиотека ТГУ catalog › Results of search for 'su:"плазмохимическое травление."'

Search

Your search returned 9 results.

	1.	Академик К. А. Валиев и его научная школа избранные труды Российская акад. наук, Физ.-технол. ин-т by Валиев, Камиль Ахметович, 1931-2010 \| Физико-технологический институт(Москва). Material type: Text; Format: print ; Nature of contents: ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Language: Russian Publication details: Москва Наука 2011Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	2.	No cover image available Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.) В. М. Таран, В. И. Орлов by Таран, Владимир Маркович \| Орлов, Василий Иванович. Series: Обзоры по электронной техникеMaterial type: Text; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Publication details: М. Электроника 1987Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	3.	Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий Р. К. Яфаров by Яфаров, Равиль Кяшшафович. Material type: Text; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Language: Russian Publication details: Москва Физматлит 2009Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	4.	No cover image available Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников Б. Д. Луфт, В. А. Перевощиков, Л. Н. Возмилова и др. ; Под ред. Б. Д. Луфт by Луфт, Берта Давыдовна \| Перевощиков, Виктор Александрович \| Возмилова, Лидия Николаевна. Material type: Text; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Publication details: М. Радио и связь 1982Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	5.	No cover image available Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники Электронный ресурс [учебное пособие для студентов специальности 210104 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"] Ф. И. Григорьев ; Московский гос. ин-т электроники и математики (Технический ун-т) by Григорьев Федор Иосифович. Material type: Text; Format: electronic available online ; Literary form: Not fiction Publication details: Москва [б. и.] 2008Online access: Click here to access online Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	6.	Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника физика, технология, диагностика и моделирование Рос. акад. наук, Физико-технол. ин-т ; отв. ред. В. Ф. Лукичёв by Лукичев, Владимир Федорович [edt]. Series: Физико-технологический институт (Москва) Труды ФТИАН: Material type: Text; Format: print festschrift ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Language: Russian Publication details: Москва Наука 2013Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	7.	No cover image available Влияние характеристик ВЧ-разряда на процесс плазмохимического травления кремния в CF4/O2 А. Г. Горобчук by Горобчук, А. Г. Source: Сопряженные задачи механики реагирующих сред, информатики и экологии : материалы Международной конференции, 25-28 июня 2007 г.Material type: Article; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	8.	No cover image available Развитие модели плазмохимического травления на основе численного моделирования ВЧ-разряда Ю. Н. Григорьев, А. Г. Горобчук by Григорьев, Юрий Николаевич \| Горобчук, Алексей Геннадьевич. Source: Математическое и физическое моделирование опасных природных явлений и техногенных катастроф : материалы Всероссийской конференции с участием зарубежных ученых, 18-20 октября 2010 г.Material type: Article; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	9.	Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов Родионов Ю. А. by Родионов Ю. А. Edition: 3-е изд., стер.Material type: Text; Format: electronic ; Audience: General; Language: Russian Publication details: Санкт-Петербург Лань 2023Online access: Click here to access online \| Click here to access online Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)