Normal view
MARC view
Академик К. А. Валиев и его научная школа избранные труды Российская акад. наук, Физ.-технол. ин-т
Material type: TextLanguage: Russian Publication details: Москва Наука 2011Description: 482, [1] с., [1] л. портр. ил. 25 смISBN: 9785020374928Subject(s): Микроэлектроника -- Физические основы -- Сборники | Жидкости -- Спектроскопические исследования -- Сборники | спектроскопия жидкостей | ядерный магнитный резонанс | интегральные схемы полупроводниковые | микроэлектроника полупроводниковая | субмикронные процессы | фотолитография | микротомография акустическая | литография электронная | рентгенолитография | фототравление | плазмохимическое травление | квантовые компьютеры, физика | квантовые вычисления | наноэлектроника кремниеваяOther classification: З844.1-01с3я43 | В344.3я43Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 2-022778 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000937191 |
Библиогр. в конце ст.
There are no comments on this title.