Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов Родионов Ю. А.
Material type:
TextLanguage: Russian Publication details: Санкт-Петербург Лань 2023Edition: 3-е изд., стерDescription: 220 сISBN: 978-5-507-46956-7Subject(s): электроника | микроэлектроника | микросхемы | химические процессы | химические технологии | деионизованная вода | химическая очистка поверхности | подложка | технологический слой | удаление загрязнений | фоторезист | химическое травление | кремний | диоксид кремния | нитрид кремния | металлические пленки | электрохимическое травление | плазмохимическое травление | химическое нанесение пленок | химическое осаждение | электрохимическое осаждение | эпитаксияOther classification: 32.85я73 Online resources: Click here to access online | Click here to access online Summary: Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки
There are no comments on this title.