Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка Ли Цзень Фень, Г. Е. Ремнев, М. С. Салтымаков и др.

Contributor(s): Ли Цзень Фень | Салтымаков, Максим Сергеевич | Гусельников, Виктор Иванович | Макеев, Вячеслав Анатольевич | Ивонин, Иван Варфоломеевич | Найден, Евгений Петрович, 1940-2015 | Юрченко, Василий Иванович | Ремнев, Геннадий Ефимович | Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики полупроводников | Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра радиоэлектроники | Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИMaterial type: ArticleArticleSubject(s): арсенид галлия | осаждение тонких пленок | абляционная плазма | ионные пучки импульсные | коэффициент эрозии мишениGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Известия высших учебных заведений. Физика Т. 50, № 1. С. 66-70
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
No physical items for this record

Библиогр.: 9 назв.

There are no comments on this title.

to post a comment.
Share