Normal view
MARC view
Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка Ли Цзень Фень, Г. Е. Ремнев, М. С. Салтымаков и др.
Material type: ArticleSubject(s): арсенид галлия | осаждение тонких пленок | абляционная плазма | ионные пучки импульсные | коэффициент эрозии мишениGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Известия высших учебных заведений. Физика Т. 50, № 1. С. 66-70No physical items for this record
Библиогр.: 9 назв.
There are no comments on this title.