Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Электрофизические и физико-химические свойства омических контактов для соединений III-N В. Н. Брудный, М. Д. Вилисова, Л. Э. Великовский [и др.]

Contributor(s): Вилисова, Мария Дмитриевна | Великовский, Леонид Эдуардович | Сим, Павел Евгеньевич | Брудный, Павел Александрович | Брудный, Валентин НатановичMaterial type: ArticleArticleSubject(s): нитрид галлия | металлизация | омические контакты | зарядовая нейтральность | обработка поверхности | физико-химические свойства | электрофизические свойстваGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Известия высших учебных заведений. Физика Т. 61, № 8. С. 73-78Abstract: Проведен анализ экспериментальных данных по исследованию омических контактов на основе однослойных и многослойных металлизаций к GaN и твердым растворам (In, Al, Ga)N. Экспериментально исследованы металлизации Ti/Al/Mo/Au и Ti/Al/Mo/W/Au к нелегированному GaN и влияние обработки поверхности пластин GaN перед металлизацией, а также режима отжига контакта.
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
No physical items for this record

Библиогр.: 53 назв.

Ограниченный доступ

Проведен анализ экспериментальных данных по исследованию омических контактов на основе однослойных и многослойных металлизаций к GaN и твердым растворам (In, Al, Ga)N. Экспериментально исследованы металлизации Ti/Al/Mo/Au и Ti/Al/Mo/W/Au к нелегированному GaN и влияние обработки поверхности пластин GaN перед металлизацией, а также режима отжига контакта.

There are no comments on this title.

to post a comment.
Share