Refine your search
Availability
- Showing only available items
- Show all items
-
Bibliographic level
- Книги (7)
- Сериальные издания (2)
- Статьи из сериальных изданий (1)
-
Authors
- Коркишко, Юрий Николаевич (2)
- Акуленок, Марина Викторовна (1)
- Андреев, Владимир Михайлович (1)
- Асеев, Александр Леонидович (1)
- Ваулин, Юрий Дмитриевич (1)
- Воротынцев, Владимир Михайлович (1)
- Громов, Дмитрий Геннадьевич (1)
- Ицкович, Вульф Моисеевич (1)
- Капустин, Владимир Иванович (1)
- Константинова, Галина Серафимовна (1)
- Лозовский, Владимир Николаевич (1)
- Лозовский, Сергей Владимирович (1)
- Мокроусов, Геннадий Михайлович (1)
- Райнова, Юлия Петровна (1)
- Сигов, Александр Сергеевич (1)
- Скупов, Владимир Дмитриевич (1)
- Стенин, Сергей Иванович (1)
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (7)
- Читальный зал 5 (3)
- Абонемент (2)
- Абонемент. Депозитарий (1)
- Книгохранилище-11 (1)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (7)
- 6 месяцев (3)
- 1 месяц (2)
- Выдается по месту хранения (2)
- 1 неделя (1)
-
Topics
- полупроводниковые материалы (8)
- микроэлектроника [x]
- учебные пособия для вузов (5)
- оптоэлектроника (3)
- диэлектрические материалы (2)
- интегральные микротехнологии (2)
- микроэлектроника, методы рентгенолитографические (2)
- микроэлектроника, методы фотолитографические (2)
- микроэлектроника, технологические процессы (2)
- нанолитография (2)
- наноструктуры (2)
- нанотехнологии (2)
- наноэлектроника (2)
- наноэлектроника, технологические процессы (2)
- пленки тонкие, легирование термодиффузионное (2)
- пленки тонкие, распыление ионно-плазменное (2)
- подложки, поверхности (2)
- подложки, травление плазмохимическое (2)
- подложки, удаление вещества с поверхности (2)
- полупроводники (2)
- твердотельная электроника (2)
- эпитаксиальные методы (2)
- Интегральные схемы (1)
- Нанотехнология (1)
- Полупроводниковые соединения (1)
- Применение в радиотехнике (1)
- Производство (1)
- Структура (1)
- Томский государственный университет. Кафедра аналитической химии (1)
- абразивная обработка (1)
- аналитические методы исследования (1)
- арсенид галлия (1)
- вакуумная электроника (1)
- высокочистые материалы для электронной техники (1)
- высшее техническое образование (1)
- германий (1)
- германий-арсенид галлия (1)
- гетеропереходы (1)
- гетероструктуры (1)
- глубокая очистка (1)
- движение зарядов (1)
- дефектообразование в приборных структурах (1)
- дефекты в кристаллах, классификация (1)
- диоды (1)
- диоксид кремния, осаждение (1)
- дислокации в полупроводниках (1)
- дистилляционные методы (1)
- диффузионное легирование полупроводников (1)
- диэлектрики (1)
- диэлектрические пленки, методы формирования (1)
- Show more
- Show less