Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (6)
-
Authors
- Коркишко, Юрий Николаевич (2)
- Акуленок, Марина Викторовна (1)
- Андреев, Владимир Михайлович (1)
- Барыбин, Анатолий Андреевич (1)
- Воротынцев, Владимир Михайлович (1)
- Громов, Дмитрий Геннадьевич (1)
- Ицкович, Вульф Моисеевич (1)
- Константинова, Галина Серафимовна (1)
- Лозовский, Владимир Николаевич (1)
- Лозовский, Сергей Владимирович (1)
- Райнова, Юлия Петровна (1)
- Скупов, Владимир Дмитриевич (1)
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (5)
- Абонемент (3)
- Читальный зал 5 (2)
- Абонемент. Депозитарий (1)
- Библиотека РФФ (1)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (5)
- 6 месяцев (3)
- 1 неделя (1)
- 1 месяц (1)
- Выдается по месту хранения (1)
-
Topics
- учебные пособия для вузов [x]
- полупроводниковые материалы (5)
- микроэлектроника [x]
- интегральные микротехнологии (2)
- микроэлектроника, методы рентгенолитографические (2)
- микроэлектроника, методы фотолитографические (2)
- микроэлектроника, технологические процессы (2)
- наноэлектроника, технологические процессы (2)
- пленки тонкие, легирование термодиффузионное (2)
- пленки тонкие, распыление ионно-плазменное (2)
- подложки, поверхности (2)
- подложки, травление плазмохимическое (2)
- подложки, удаление вещества с поверхности (2)
- твердотельная электроника (2)
- эпитаксиальные методы (2)
- Интегральные схемы (1)
- Нанотехнология (1)
- Применение в радиотехнике (1)
- Производство (1)
- Физические основы (1)
- Электроника (1)
- абразивная обработка (1)
- высокочистые материалы для электронной техники (1)
- высшее техническое образование (1)
- гетеропереходы (1)
- глубокая очистка (1)
- движение зарядов (1)
- дефектообразование в приборных структурах (1)
- дефекты в кристаллах, классификация (1)
- диоды (1)
- диоксид кремния, осаждение (1)
- дистилляционные методы (1)
- диффузионное легирование полупроводников (1)
- диффузия атомов (1)
- диэлектрические материалы (1)
- диэлектрические пленки, методы формирования (1)
- изготовление микросхем (1)
- интегральные микросхемы (1)
- ионно-лучевое легирование полупроводников (1)
- история наноэлектроники (1)
- квантовая физика (1)
- квантоворазмерные структуры (1)
- квантовые ямы (1)
- конденсаторы (1)
- контроль качества подложек (1)
- кремний на диэлектрике, структуры (1)
- кристаллизационные методы (1)
- кристаллические решетки (1)
- кристаллы бездислокационные (1)
- легирование полупроводников (1)
- Show more
- Show less