Normal view
MARC view
Технология материалов микро- и наноэлектроники к 75-летию Московского Государственного института стали и сплавов (Технологического университета) Л. В. Кожитов, В. Г. Косушкин, В. В. Крапухин, Ю. Н. Пархоменко
Material type:
TextLanguage: Russian Series: Металлургия и материаловедение XXI векаPublication details: Москва МИСИС 2007Description: 542, [1] с. ил., табл. 24 смISBN: 9785876231327Subject(s): материалы наноэлектроники | кремний полупроводниковый | нанополирование поверхности | нанокомпозиты металлополимерные | эпитаксия парофазная химическим осаждением | монокристаллы полупроводников | рост монокристаллов | радиационная стойкость кремния | термическая обработка кремния | материалы электроники твердотельной | эпитаксия кремния | полиакрилонитрил пиролизованный | кремниевые слои скрытые диэлектрические | кремниевые слои скрытые полупроводниковые | кремниевые слои скрытые проводящие | ионно-лучевой синтез | имплантированные слои кремния | математические модели теплопереноса | математические модели массопереноса | методы нелинейной динамики | кремний монокристаллический | электроника кремниеваяOther classification: З844.1-03,0
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-997993к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000787447 |
Библиогр.: с. 539-543
There are no comments on this title.