Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Технология материалов микро- и наноэлектроники (Record no. 305182)

000 -Маркер записи
Контрольное поле постоянной длины 03335cam a2200577 i 4500
001 - Контрольный номер
Контрольное поле vtls000414703
005 - Дата корректировки
Контрольное поле 20210922051918.0
008 - Кодируемые данные
Контрольное поле постоянной длины 120830s2007 ru a f b 000 0 rus|d
020 ## - Индекс ISBN
ISBN 9785876231327
035 ## - Системный контрольный номер
Системный контрольный номер 003086192
040 ## - Источник каталогиз.
Служба первич. каталог. RuMoRKP
Код языка каталог. rus
Правила каталог. rcr
Организация, изменившая запись RuMoRGB
-- RU-ToGU
041 0# - Код языка издания
Код языка текста rus
080 ## - Индекс УДК
Индекс УДК 621.315.5-022.53:546.28
080 ## - Индекс УДК
Индекс УДК 538.91/93-022.53:546.28
084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК
Индекс другой классификации/Индекс ББК З844.1-03,0
Источник индекса rubbk
245 10 - Заглавие
Заглавие Технология материалов микро- и наноэлектроники
Продолж. заглавия к 75-летию Московского Государственного института стали и сплавов (Технологического университета)
Ответственность Л. В. Кожитов, В. Г. Косушкин, В. В. Крапухин, Ю. Н. Пархоменко
260 ## - Выходные данные
Место издания Москва
Издательство МИСИС
Дата издания 2007
300 ## - Физическое описание
Объем 542, [1] с.
Иллюстрации/тип воспроизводства ил., табл.
Размеры 24 см
490 10 - Серия
Заглавие серии Металлургия и материаловедение XXI века
504 ## - Библиография
Библиография Библиогр.: с. 539-543
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова материалы наноэлектроники
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремний полупроводниковый
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова нанополирование поверхности
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова нанокомпозиты металлополимерные
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова эпитаксия парофазная химическим осаждением
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова монокристаллы полупроводников
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова рост монокристаллов
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова радиационная стойкость кремния
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова термическая обработка кремния
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова материалы электроники твердотельной
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова эпитаксия кремния
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова полиакрилонитрил пиролизованный
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремниевые слои скрытые диэлектрические
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремниевые слои скрытые полупроводниковые
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремниевые слои скрытые проводящие
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова ионно-лучевой синтез
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова имплантированные слои кремния
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова математические модели теплопереноса
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова математические модели массопереноса
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова методы нелинейной динамики
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремний монокристаллический
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова электроника кремниевая
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Кожитов, Лев Васильевич
9 (RLIN) 376854
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Косушкин, Виктор Григорьевич
9 (RLIN) 376855
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Крапухин, Всеволод Валерьевич
9 (RLIN) 74182
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Пархоменко, Юрий Николаевич
9 (RLIN) 334421
830 ## - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие
Унифицированное заглавие Металлургия и материаловедение XXI века
9 (RLIN) 339908
852 4# - Местонахождение единицы хранения
Код организации-хранителя RU-ToGU
Полочный индекс 621.3
Авторский знак Т384
Код страны ru
999 ## - Системные контрольные номера (Koha)
biblionumber (Koha) 305182
Holdings
Не выдается Отсутствует на месте Поврежден Исходное место хранения Местоположение Дата поступления Цена Всего выдач Расстановочный шифр Штрих-код Класс экземпляра
      Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 04/04/2021 665.50   1-997993к 13820000787447 Выдается в читальный зал