Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Статьи из сериальных изданий (2)
- Книги (2)
-
Authors
- Кожитов, Лев Васильевич (4)
- Коровин, Евгений Юрьевич (2)
- Попкова, Алена Васильевна (2)
- Блинов, Иван Григорьевич (1)
- Борознин, Сергей Владимирович (1)
- Борознина, Наталья Павловна (1)
- Запороцкова, Ирина Владимировна (1)
- Какорина, Олеся Александровна (1)
- Косушкин, Виктор Григорьевич (1)
- Крапухин, Всеволод Валерьевич (1)
- Ломов, Андрей Александрович (1)
- Муратов, Дмитрий Геннадьевич (1)
- Пархоменко, Юрий Николаевич (1)
- Якушко, Егор Владимирович (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (2)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (1)
- 1 месяц (1)
-
Topics
- нанокомпозиты (2)
- автоматизация производства (1)
- вакуумные системы (1)
- выращивание монокристаллов полупроводников (1)
- газовые системы (1)
- диффузионно-окислительные системы (1)
- имплантированные слои кремния (1)
- ионно-лучевой синтез (1)
- квантово-химические исследования (1)
- кремниевые слои скрытые диэлектрические (1)
- кремниевые слои скрытые полупроводниковые (1)
- кремниевые слои скрытые проводящие (1)
- кремний монокристаллический (1)
- кремний полупроводниковый (1)
- кристаллизационные установки (1)
- математические модели массопереноса (1)
- математические модели теплопереноса (1)
- материалы наноэлектроники (1)
- материалы электроники твердотельной (1)
- металлические включения (1)
- методы нелинейной динамики (1)
- монокристаллы полупроводников (1)
- монтажно-сборочное оборудование (1)
- нагрев изделий (1)
- нанокомпозиты металлополимерные (1)
- нанополирование поверхности (1)
- наночастицы (1)
- никелевые сплавы (1)
- оборудование для обработки поверхностей (1)
- оборудование для осаждения пленок (1)
- поглощение электромагнитного излучения (1)
- полиакрилонитрил пиролизованный (1)
- полимеры (1)
- производство интегральных микросхем (1)
- производство полупроводниковых приборов (1)
- промышленные роботы (1)
- радиационная стойкость кремния (1)
- рост монокристаллов (1)
- системы ионной имплантации (1)
- термическая обработка кремния (1)
- технологическое оборудование (1)
- учебные издания для вузов (1)
- фотолитографическое оборудование (1)
- электроника кремниевая (1)
- электронно-энергетические спектры (1)
- эпитаксиальные преобразователи (1)
- эпитаксия кремния (1)
- эпитаксия парофазная химическим осаждением (1)
- Show more
- Show less