Научная библиотека ТГУ catalog › Results of search for 'su:"планарные магнетроны"'

Search

Your search returned 3 results.

	1.	No cover image available Модификация поверхности материалов ионами бора на основе разрядных систем вакуумной дуги и планарного магнетрона А. С. Бугаев, А. В. Визирь, В. И. Гушенец [и др.] by Визирь, Алексей Вадимович \| Гушенец, Василий Иванович \| Николаев, Алексей Геннадьевич \| Никоненко, Алиса Владимировна \| Окс, Ефим Михайлович \| Савкин, Константин Петрович \| Фролова, Валерия Петровна \| Шандриков, Максим Валентинович \| Юшков, Георгий Юрьевич \| Бугаев, Алексей Сергеевич. Source: Известия высших учебных заведений. ФизикаMaterial type: Article; Format: electronic available online Online access: Click here to access online Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	2.	No cover image available Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора А. В. Визирь, А. Г. Николаев, Е. М. Окс [и др.] by Визирь, Алексей Вадимович \| Николаев, Алексей Геннадьевич \| Окс, Ефим Михайлович \| Фролова, Валерия Петровна \| Черкасов, Александр Алексеевич \| Шандриков, Максим Валентинович \| Юшков, Георгий Юрьевич. Source: Известия высших учебных заведений. ФизикаMaterial type: Article; Format: electronic available online Online access: Click here to access online Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	3.	No cover image available Аксиальное распределение масс-зарядового состава плазмы магнетронного разряда М. В. Шандриков, И. Д. Артамонов, А. В. Визирь [и др.] by Артамонов, Игорь Дмитриевич \| Визирь, Алексей Вадимович \| Бугаев, Алексей Сергеевич \| Окс, Ефим Михайлович \| Шандриков, Максим Валентинович. Source: Известия высших учебных заведений. ФизикаMaterial type: Article; Format: electronic available online Online access: Click here to access online Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)