Модификация поверхности материалов ионами бора на основе разрядных систем вакуумной дуги и планарного магнетрона А. С. Бугаев, А. В. Визирь, В. И. Гушенец [и др.]
Material type:
ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): ионы бора | плазма | вакуумные дуги | планарные магнетроны | изотопические эффектыGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online
In:
Известия высших учебных заведений. Физика Т. 63, № 10. С. 166-173Abstract: Рассмотрен принцип работы и приведены характеристики экспериментального оборудования, разработанного для генерации пучков и плазмы ионов бора: источника ионов бора на основе вакуумной дуги с сепарацией изотопов бора в магнитном поле и генератора плазмы для нанесения борсодержащих покрытий на основе планарного магнетрона. Общим для данного оборудования является использование катодов, выполненных из гекса-борида лантана. В случае планарного магнетрона также использовался катод из кристаллического бора, нагреваемый в разряде. Показано, что при имплантации кремния пучками ионов изотопов бора 10B+ и 11B+ с дозами 1014-1016 ион/см2 наблюдается изотопический эффект диодных свойств легированной поверхности. Представлены результаты исследований свойств полученных борсодержащих покрытий на модельных материалах: нержавеющей стали 12Х18Н10Т, монокристаллическом кремнии и реакторном сплаве Э110.
Библиогр.: 12 назв.
Ограниченный доступ
Рассмотрен принцип работы и приведены характеристики экспериментального оборудования, разработанного для генерации пучков и плазмы ионов бора: источника ионов бора на основе вакуумной дуги с сепарацией изотопов бора в магнитном поле и генератора плазмы для нанесения борсодержащих покрытий на основе планарного магнетрона. Общим для данного оборудования является использование катодов, выполненных из гекса-борида лантана. В случае планарного магнетрона также использовался катод из кристаллического бора, нагреваемый в разряде. Показано, что при имплантации кремния пучками ионов изотопов бора 10B+ и 11B+ с дозами 1014-1016 ион/см2 наблюдается изотопический эффект диодных свойств легированной поверхности. Представлены результаты исследований свойств полученных борсодержащих покрытий на модельных материалах: нержавеющей стали 12Х18Н10Т, монокристаллическом кремнии и реакторном сплаве Э110.
There are no comments on this title.