Научная библиотека ТГУ catalog › Results of search for 'su:"плазменное травление"'

Search

Your search returned 6 results.

	1.	No cover image available Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] А. А. Голишников, М. Г. Путря ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) by Голишников, Александр Анатольевич \| Путря, Михаил Георгиевич. Series: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Material type: Text; Format: print ; Literary form: Not fiction Language: Russian Publication details: Москва МИЭТ 2011Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	2.	No cover image available Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике" [сост.: М. Г. Путря, А. А. Голишников ; ред. Е. Г. Кузнецова] ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) by Голишников, Александр Анатольевич [com] \| Кузнецова, Е. Г [edt] \| Путря, Михаил Георгиевич [com]. Series: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Material type: Text; Format: print ; Literary form: Not fiction Publication details: Москва МИЭТ 2011Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	3.	Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" А. А. Голишников, М. Г. Путря ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (технический ун-т) by Голишников, Александр Анатольевич \| Путря, Михаил Георгиевич. Series: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Material type: Text; Format: print ; Literary form: Not fiction Language: Russian Publication details: Москва МИЭТ 2011Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	4.	No cover image available Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" А. А. Голишников, М. Г. Путря ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (технический ун-т) by Голишников, Александр Анатольевич \| Путря, Михаил Георгиевич. Series: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Material type: Text; Format: print ; Literary form: Not fiction Language: Russian Publication details: Москва МИЭТ 2011Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	5.	Неравновесная плазма хлора свойства и применение А. М. Ефремов, В. И. Светцов by Ефремов, Александр Михайлович \| Светцов, Владимир Иванович. Series: Фундаментальная и прикладная физикаMaterial type: Text; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Language: Russian Publication details: Москва Физматлит 2012Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	6.	No cover image available Плазменное травление в технологии InAlN/GaN HEMT И. А. Филиппов, В. А. Шахнов, Л. Э. Великовский [и др.] by Шахнов, Вадим Анатольевич \| Великовский, Леонид Эдуардович \| Брудный, Павел Александрович \| Демченко, Ольга Игоревна \| Филиппов, Иван Андреевич. Source: Известия высших учебных заведений. ФизикаMaterial type: Article; Format: electronic available online Online access: Click here to access online Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)