Normal view
MARC view
Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" А. А. Голишников, М. Г. Путря ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (технический ун-т)
Material type:
TextLanguage: Russian Series: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 39 с. ил. 21 смSubject(s): учебные пособия для вузов | интегральные схемы сверхбольшие | наноэлектроника | плазменные технологии | МОП-транзисторы | плазменное травление | микроструктуры трехмерные | тонкие пленки
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-998809к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000792015 |
Библиогр.: с. 38
There are no comments on this title.