Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (5)
-
Authors
- Воронин, Николай Иванович (1)
- Королев, Михаил Александрович (1)
- Красников, Геннадий Яковлевич (1)
- Красюков, Антон Юрьевич (1)
- Лебедев, Николай Николаевич (1)
- Поломошнов, Сергей Александрович (1)
- Сироткина, Екатерина Егоровна (1)
- Сломянская, Фелиция Борисовна (1)
- Филимошкин, Анатолий Георгиевич (1)
- Юрьев, Семен Федорович (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (4)
- Читальный зал 5 (1)
- Факультетская библиотека (1)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (3)
- 1 неделя (1)
- 1 месяц (1)
- Выдается по месту хранения (1)
-
Topics
- МОП-транзисторы субмикронные (2)
- нитрирование (2)
- нитрирование термическое (2)
- окислы подзатворные (2)
- Издания периода Великой Отечественной войны (1)
- Книжные памятники Томской области (1)
- МОП- транзисторные структуры (1)
- МОП-структуры (1)
- МОП-транзисторы (1)
- МОП-транзисторы наноразмерные (1)
- МОП-транзисторы субмикронные, дефекты (1)
- МОП-транзисторы субмикронные, надежность (1)
- МОП-транзисторы, масштабирование (1)
- МОП-транзисторы, физические процессы (1)
- алкилирование (1)
- амидирование (1)
- антикоррозионная защита (1)
- ароматические углеводороды (1)
- ацетилен (1)
- влияние технологических процессов (1)
- галогенирование (1)
- гидратация (1)
- гидролиз (1)
- двуокись кремния (1)
- дегидратация (1)
- дегидрирование (1)
- деградация подзатворного диэлектрика (1)
- диэлектрики подзатворные (1)
- диэлектрики подзатворные, формирование (1)
- диэлектрические слои (1)
- затворы МОПТ, формирование (1)
- затворы металлические (1)
- затворы поликремниевые (1)
- затворы поликристаллические (1)
- затворы полиметаллические (1)
- затворы полицидные (1)
- затворы силицидные (1)
- защитные покрытия (1)
- интегральные микросхемы наноразмерные кремниевые (1)
- интегральные микросхемы наноразмерные, металлизация (1)
- каналы МОПТ, формирование (1)
- легированные слои, формирование (1)
- микроминиатюризация МОП-транзисторов (1)
- наноэлектроника (1)
- нефтехимический синтез (1)
- нитрирование, применение (1)
- нитрированные металлы (1)
- нитрированные поверхности, свойства (1)
- нитрование (1)
- окисление, процессы (1)
- Show more
- Show less
-
Collections