Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Refine your search


База знаний по целевым капиталам

  •    Эндаумент
       Фандрайзинг
       Нормативные документы

  • Your search returned 4 results.

    1.
    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий Т. 2 в 2 т. [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]

    by Акуленок, Марина Викторовна | Андреев, Владимир Михайлович | Громов, Дмитрий Геннадьевич | Коркишко, Юрий Николаевич [edt].

    Series: НанотехнологииMaterial type: Text Text; Format: print ; Literary form: Not fiction Language: Russian Publication details: Москва БИНОМ. Лаборатория знаний 2010Other title: Технологические аспекты / М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов [и др.].Availability: No items available :
    2.
    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий Т. 1 в 2 т. [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко ]

    by Чистяков, Юрий Дмитриевич | Райнова, Юлия Петровна | Коркишко, Юрий Николаевич [edt].

    Series: НанотехнологииMaterial type: Text Text; Format: print ; Literary form: Not fiction Language: Russian Publication details: Москва БИНОМ. Лаборатория знаний 2010Other title: Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова.Availability: No items available :
    3.
    4.
    Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"] В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова

    by Галперин, Вячеслав Александрович | Данилкин, Евгений Владимирович | Мочалов, Алексей Иванович.

    Series: НанотехнологииMaterial type: Text Text; Format: print ; Literary form: Not fiction Language: Russian Publication details: Москва БИНОМ. Лаборатория знаний 2010Availability: No items available :