Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (4)
-
Authors
- Коркишко, Юрий Николаевич (2)
- Акуленок, Марина Викторовна (1)
- Андреев, Владимир Михайлович (1)
- Галперин, Вячеслав Александрович (1)
- Громов, Дмитрий Геннадьевич (1)
- Данилкин, Евгений Владимирович (1)
- Мочалов, Алексей Иванович (1)
- Райнова, Юлия Петровна (1)
- Цветков, Юрий Борисович (1)
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (3)
- Абонемент (2)
- Читальный зал 5 (1)
- Абонемент. Депозитарий (1)
- Читальный зал. Депозитарий (1)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (3)
- 6 месяцев (3)
- 1 месяц (2)
- Выдается по месту хранения (1)
-
Topics
- интегральные микротехнологии (4)
- микроэлектроника, технологические процессы (4)
- наноэлектроника, технологические процессы (3)
- учебные пособия для вузов (3)
- Интегральные схемы (2)
- Производство (2)
- микроэлектроника, методы рентгенолитографические (2)
- микроэлектроника, методы фотолитографические (2)
- пленки тонкие, легирование термодиффузионное (2)
- пленки тонкие, распыление ионно-плазменное (2)
- подложки, поверхности (2)
- подложки, травление плазмохимическое (2)
- подложки, удаление вещества с поверхности (2)
- Дила-Гроува модель роста оксида (1)
- КМОП-микросхемы (1)
- КМОП-технологии (1)
- Нанотехнология (1)
- Плазмохимические методы (1)
- Применение в радиотехнике (1)
- абразивная обработка (1)
- диоксид кремния, осаждение (1)
- диоксид кремния, свойства (1)
- диоксид кремния, структура (1)
- диэлектрические материалы (1)
- диэлектрические пленки, методы формирования (1)
- интегральные микросхемы, производство (1)
- интегральные системы ультрабольшие, травление вакуумно-плазменное (1)
- интегральные схемы, травление вакуумно-плазменное (1)
- кремниевые пластины монокристаллические (1)
- кремниевые пластины, обработка (1)
- кремниевые пластины, параметры (1)
- кремний, травление плазмохимическое (1)
- лазеры, изготовление травлением вакуумно-плазменным (1)
- металлы, обработка термическая стабилизирующая (1)
- микрогетерогенные системы неравновесные, взаимодействие межфазное (1)
- микродатчики давления (1)
- микрозеркала, изготовление травлением вакуумно-плазменным (1)
- микроэлектромеханические системы (1)
- микроэлектроника, методы электронографические (1)
- микроэлектроника, методы электронолитографические (1)
- микроэлектроника, технология воздействия электрических полей (1)
- микроэлектроника, технология воздействия электромагнитного излучения интенсивного (1)
- монокристаллический кремний (1)
- монокристаллы, выращивание (1)
- наносистемы, травление вакуумно-плазменное (1)
- наноэлектроника, физико-химические процессы (1)
- нитрид кремния, осаждение (1)
- оксидирование, стадии (1)
- оптоэлектроника, технологические процессы (1)
- особенности производства (1)
- Show more
- Show less