Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu–W К. А. Просолов, В. В. Ластовка, А. И. Толмачев [и др.]
Material type:
ArticleContent type: Текст Media type: электронный Other title: Structural features and regularities of the formation of a target for RF magnetron sputtering from W−Cu bimetallic particles [Parallel title]Subject(s): высокочастотное магнетронное распыление | несмешивающиеся металлы | функциональные покрытия | электровзрыв | нанопорошкиGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online
In:
Известия высших учебных заведений. Физика Т. 66, № 12. С. 79-85Abstract: Исследован метод синтеза мишеней из порошковых смесей Cu–W, полученных методом электровзрыва. Рассмотрены оптимальные параметры процесса и структурно-фазовый состав полученных мишеней. Основными фазами являются Cu и W с рефлексами фазы Cu2WO4 в мишени с меньшим содержанием W. Показана эрозия мишеней при ВЧ-распылении и изменение формы кластеров в покрытии при увеличении мощности. Ранее исследования в этой области не уделяли должного внимания синтезу мишеней с высоким содержанием W и влиянию параметров процесса на качество получаемых покрытий.
Библиогр.: 8 назв.
Ограниченный доступ
Исследован метод синтеза мишеней из порошковых смесей Cu–W, полученных методом электровзрыва. Рассмотрены оптимальные параметры процесса и структурно-фазовый состав полученных мишеней. Основными фазами являются Cu и W с рефлексами фазы Cu2WO4 в мишени с меньшим содержанием W. Показана эрозия мишеней при ВЧ-распылении и изменение формы кластеров в покрытии при увеличении мощности. Ранее исследования в этой области не уделяли должного внимания синтезу мишеней с высоким содержанием W и влиянию параметров процесса на качество получаемых покрытий.
There are no comments on this title.