Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu–W А. Просолов, В. В. Ластовка, А. И. Толмачев и др. by Просолов, Александрович | Ластовка, Владимир Викторович | Толмачев, Алексей Иванович | Химич, Маргарита Андреевна | Сулиз, Константин Владимирович | Казанцев, Сергей Олегович | Ложкомоев, Александр Сергеевич | Шаркеев, Юрий Петрович 1950-.
Source: Известия высших учебных заведений. ФизикаMaterial type: 
Article; Format:
electronic
available online
; Audience:
Specialized;
Other title: Structural features and regularities of the formation of a target for RF magnetron sputtering from W−Cu bimetallic particles.Online access: Click here to access online Availability: No items available :
