Normal view
MARC view
Анализ гомоэпитаксиального роста тонких пленок кремния на сверхструктурах 1х2 и 2х1 методом дифракции быстрых электронов О. И. Кукенов, В. В. Дирко, А. П. Коханенко, К. А. Лозовой
Material type: ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): полупроводниковые наноструктуры | молекулярно-лучевая эпитаксия | экспериментальные исследования | тонкие пленки | кремнийGenre/Form: статьи в сборниках Online resources: Click here to access online In: Актуальные проблемы радиофизики АПР-2021 : 9-я Международная научно-практическая конференция, 20-22 октября 2021 года, г. Томск : сборник трудов конференции С. 232-233No physical items for this record
Библиогр.: 4 назв.
There are no comments on this title.