Normal view
MARC view
Технология полупроводникового кремния [Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червоный и др.] ; под ред. Э. С. Фалькевича
Material type: TextPublication details: Москва Металлургия 1992Description: 406, [1] с. ил. 22 смISBN: 5229007400Subject(s): Кремний - Получение | кремний полупроводниковый | кремний чистый | кремний технический | силаны | очистка кремнийсодержащих соединений | ректификация | кремниевые стержни поликристаллические | получение кремниевых стержней | термическое разложение силанов | водородное восстановление хлорсиланов | выращивание монокристаллов | зонная плавка бестигельная | технологическое оборудование | вакуумное оборудование | криогенное оборудование | кремниевое производство | техника безопасностиOther classification: 53.37Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-780898к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000680951 |
Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр.: с. 399-407 (298 назв.)
There are no comments on this title.