Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Технология полупроводникового кремния (Record no. 225772)

000 -Маркер записи
Контрольное поле постоянной длины 02422nam a22004811 4500
001 - Контрольный номер
Контрольное поле vtls000344784
005 - Дата корректировки
Контрольное поле 20210922021336.0
008 - Кодируемые данные
Контрольное поле постоянной длины 090320s1992 ru ad b 000 0 rus d
020 ## - Индекс ISBN
ISBN 5229007400
035 ## - Системный контрольный номер
Системный контрольный номер (RU-RKP)ru92-016528
040 ## - Источник каталогиз.
Служба первич. каталог. RU-RKP
Код языка каталог. rus
Служба, преобразующая запись RU-RKP
Организация, изменившая запись RU-ToGU
080 ## - Индекс УДК
Индекс УДК 621.315.592.002:669.782
084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК
Индекс другой классификации/Индекс ББК 53.37
Источник индекса rugasnti
245 10 - Заглавие
Заглавие Технология полупроводникового кремния
Ответственность [Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червоный и др.] ; под ред. Э. С. Фалькевича
260 ## - Выходные данные
Место издания Москва
Издательство Металлургия
Дата издания 1992
300 ## - Физическое описание
Объем 406, [1] с.
Иллюстрации/тип воспроизводства ил.
Размеры 22 см
500 ## - Примечания
Примечание Авт. указаны на обороте тит. л.
504 ## - Библиография
Библиография Библиогр.: с. 399-407 (298 назв.)
650 #7 - Тематические рубрики
Основная рубрика Кремний - Получение
Источник рубрики RU-RKP
9 (RLIN) 302626
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремний полупроводниковый
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремний чистый
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремний технический
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова силаны
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова очистка кремнийсодержащих соединений
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова ректификация
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремниевые стержни поликристаллические
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова получение кремниевых стержней
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова термическое разложение силанов
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова водородное восстановление хлорсиланов
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова выращивание монокристаллов
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова зонная плавка бестигельная
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова технологическое оборудование
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова вакуумное оборудование
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова криогенное оборудование
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремниевое производство
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова техника безопасности
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Фалькевич, Эдуард Семенович.
9 (RLIN) 302627
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Пульнер, Эрунст Оскарович
9 (RLIN) 302628
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Червоный, Иван Федорович
9 (RLIN) 302629
852 4# - Местонахождение единицы хранения
Код организации-хранителя RU-ToGU
Код страны ru
999 ## - Системные контрольные номера (Koha)
biblionumber (Koha) 225772
Holdings
Не выдается Отсутствует на месте Поврежден Исходное место хранения Местоположение Дата поступления Цена Всего выдач Расстановочный шифр Штрих-код Класс экземпляра
      Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 04/04/2021 16.00   1-780898к 13820000680951 Выдается в читальный зал