Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (4)
-
Locations
- Книгохранилище (4)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (4)
- 1 месяц (3)
-
Topics
- микроэлектроника (4)
- полупроводники (2)
- технологии (2)
- диагностика (1)
- диагностика поверхности (1)
- кремний (1)
- осаждение (1)
- плазма (1)
- рентгеновская дифракция (1)
- субмикронная технология (1)
- технологические процессы (1)
- тонкие пленки (1)
- травление (1)
- электронная микроскопия (1)
- Show more
- Show less