Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Проблемы микроэлектронной технологии Отв. ред. Л. В. Великов; Рос. АН, Физико-технологический ин-т

Contributor(s): Физико-технологический институт (Москва)Material type: TextTextSeries: Труды Физико-технологического института / Рос. АНPublication details: М. Наука 1994Description: 78 с. илISBN: 502007019XSubject(s): микроэлектроника | технологии | технологические процессыOther classification: 47.33.37
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Copy number Status Date due Barcode
Выдается в читальный зал Книгохранилище 1-814016к (Browse shelf (Opens below)) 1 Available 13820000129159
1 месяц Книгохранилище 1-808736 (Browse shelf (Opens below)) 2 Available 13820000319668

Библиогр. в конце ст.

There are no comments on this title.

to post a comment.