Normal view
MARC view
Проблемы микроэлектронной технологии Отв. ред. Л. В. Великов; Рос. АН, Физико-технологический ин-т
Material type: TextSeries: Труды Физико-технологического института / Рос. АНPublication details: М. Наука 1994Description: 78 с. илISBN: 502007019XSubject(s): микроэлектроника | технологии | технологические процессыOther classification: 47.33.37Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-814016к (Browse shelf (Opens below)) | 1 | Available | 13820000129159 | |
1 месяц | Книгохранилище | 1-808736 (Browse shelf (Opens below)) | 2 | Available | 13820000319668 |
Библиогр. в конце ст.
There are no comments on this title.