Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
-
Authors
- Захаров, Александр Николаевич (3)
- Оскирко, Владимир Олегович (3)
- Семенов, Вячеслав Аркадьевич (2)
- Гренадеров, Александр Сергеевич (1)
- Козырев, Андрей Владимирович (1)
- Оскомов, Константин Владимирович (1)
- Павлов, Артем Павлович (1)
- Работкин, Сергей Викторович (1)
- Семенюк, Наталья Степановна (1)
- Сиделев, Дмитрий Владимирович (1)
- Соловьев, Андрей Александрович (1)
- Сочугов, Николай Семенович (1)
- Show more
- Show less
-
Topics
- генераторы плазмы (1)
- дуальная магнетронная распылительная система (1)
- дуальное магнетронное распыление (1)
- магнетронные разряды (1)
- магнетронные распылительные системы (1)
- пакетно-импульсное магнетронное распыление высокой мощности (1)
- плазменно-иммерсионная обработка (1)
- покрытия (1)
- потоки энергии (1)
- реактивное магнетронное распыление (1)
- сильноточное импульсное магнетронное распыление (1)
- экспериментальные исследования (1)
- Show more
- Show less