Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Статьи из сериальных изданий (2)
- Статьи из сборников (1)
- Книги (1)
-
Authors
-
Locations
- Книгохранилище (1)
-
Item types
-
Topics
- КМОП-структуры (1)
- МДМ-структуры (1)
- Микросхемы - Производство - Учебники и пособия (1)
- диффузионные процессы (микроэлектроника) (1)
- диэлектрические пленки (1)
- интегральные микросхемы (1)
- интегральные микросхемы полупроводниковые (1)
- ионно-лучевая обработка (1)
- литография интегральных схем (1)
- математическое моделирование (1)
- метод лучевой обработки (микроэлектроника) (1)
- метод свободных масок (микроэлектроника) (1)
- методы получения рисунка микросхемы (1)
- микроэлектроника (1)
- низкотемпературные методы (1)
- пленочные элементы микросхем (1)
- расчет погрешностей (1)
- силициды (1)
- силициды металлов (1)
- скорость осаждения (1)
- скорость травления (1)
- топология микросхем (1)
- травление (1)
- физика диэлектриков (1)
- физика полупроводников (1)
- электрические параметры (1)
- Show more
- Show less