Normal view
MARC view
Математическое моделирование процессов травления И. С. Ивашковская, Т. И. Данилина
Material type: ArticleSubject(s): физика полупроводников | физика диэлектриков | микроэлектроника | травление | математическое моделирование In: Физика твердого тела : тезисы докладов VI Российской научной студенческой конференции С. 88No physical items for this record
There are no comments on this title.