Normal view
MARC view
Математическое моделирование процессов травления (Record no. 478318)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 01172naa a2200253 c 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000792368 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20240227171941.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 210122s1998 ru f 100 0 rus d |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000792368 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Ивашковская, И. С. |
| 9 (RLIN) | 509468 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Математическое моделирование процессов травления |
| Ответственность | И. С. Ивашковская, Т. И. Данилина |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | физика полупроводников |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | физика диэлектриков |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | микроэлектроника |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | травление |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | математическое моделирование |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Данилина, Тамара Ивановна |
| 9 (RLIN) | 353616 |
| 773 0# - Источник информации | |
| Название источника | Физика твердого тела : тезисы докладов VI Российской научной студенческой конференции |
| Место и дата издания | Томск, 1998 |
| Прочая информация | С. 88 |
| Контрольный № источника | 0048-48860 |
| 852 ## - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | статья |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 478318 |
No items available.