Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (4)
-
Authors
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (4)
- Зи, С. М. (2)
- Адамс, А. (1)
- Кац, Л. (1)
- Коркишко, Юрий Николаевич (1)
- Могэб, К. (1)
- Пирс, К. (1)
- Райнова, Юлия Петровна (1)
- Фичтнер, У. (1)
- Фрейзер, Д. (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (4)
- Абонемент (1)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (3)
- 1 месяц (3)
- 6 месяцев (1)
-
Topics
- литография интегральных схем (2)
- Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство (1)
- абразивная обработка (1)
- герметизация интегральных схем (1)
- двуокись кремния (1)
- диагностика интегральных схем (1)
- диффузия в поликремнии (1)
- интегральные микротехнологии (1)
- интегральные схемы сверхбольшие кремниевые (1)
- ионная имплантация (1)
- ионная имплантация интегральных схем (1)
- ионно-плазменные технологии (1)
- контроль интегральных схем (1)
- кремний (1)
- литография оптическая (1)
- литография рентгеновская (1)
- литография электронно-лучевая (1)
- металлизация интегральных схем (1)
- металлы, обработка термическая стабилизирующая (1)
- микрогетерогенные системы неравновесные, взаимодействие межфазное (1)
- микроэлектроника, методы рентгенолитографические (1)
- микроэлектроника, методы фотолитографические (1)
- микроэлектроника, методы электронолитографические (1)
- микроэлектроника, технологические процессы (1)
- микроэлектроника, технология воздействия электрических полей (1)
- микроэлектроника, технология воздействия электромагнитного излучения интенсивного (1)
- миниатюризация интегральных схем (1)
- надежность интегральных схем (1)
- наноэлектроника, технологические процессы (1)
- наноэлектроника, физико-химические процессы (1)
- нитрид кремния (1)
- окисление поликремния (1)
- осаждение диэлектрических пленок (1)
- осаждение плазмохимическое (1)
- пленки металлические, нанесенеие (1)
- пленки окисные (1)
- пленки оксидные (1)
- пленки тонкие, конденсация (1)
- пленки тонкие, легирование термодиффузионное (1)
- пленки тонкие, распыление ионно-плазменное (1)
- пленки тонкие, распыление катодное (1)
- подложки кремниевые (1)
- подложки, вакуум-термическое испарение (1)
- подложки, окисление (1)
- подложки, перераспределение вещества (1)
- подложки, поверхности (1)
- подложки, травление ионно-плазменное (1)
- подложки, травление плазмохимическое (1)
- подложки, удаление вещества с поверхности (1)
- подложки, удаление вещества с поверхности вакуум-термическое (1)
- Show more
- Show less