Normal view
MARC view
Удаление остаточного резиста с поверхности арсенида галлия в кислород- или водоросрдержащих средах Е. В. Анищенко, В. М. Диамант, В. А. Кагадей [и др.]
Material type: ArticleSubject(s): физика полупроводников | полупроводники | полупроводниковые приборы | резисты | интегральные схемы | арсенид галлия | атомарный водород | кислородсодержащие среды | водородсодержащие среды | экспериментальные исследования | полупроводниковые материалы | труды ученых ТГУ In: Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции С. 352-354No physical items for this record
Библиогр.: 1 назв.
There are no comments on this title.