Normal view
MARC view
Микроструктурирование тонких пленок Отв. ред. А. А. Орликовский
Material type:
TextSeries: Физико-технологический институт (Москва) Труды ФТИАН: Publication details: М. Наука 1991Description: 110,[2] с. ил. 24 смISBN: 5020068179Subject(s): Микролитография | Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство | тонкие пленки | литография субмикронная | физика тонких пленок | распыление тонких пленок | анализ тонких пленок | масс-спектральный анализ | спектроскопия ионно-фотонная | математическое моделирование процессов | кинетика отказов | миграционные модели | транзисторы полевые арсенидгаллиевые | электрические характеристикиOther classification: 47.13
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-779857 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000874858 | ||
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-759532 (Browse shelf (Opens below)) | 1 | Available | 13820000122563 | |
| 1 месяц | Книгохранилище | 1-790835 (Browse shelf (Opens below)) | 2 | Available | 13820000290597 |
Библиогр. в конце ст.
There are no comments on this title.