Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Микроструктурирование тонких пленок (Record no. 1182)

000 -Маркер записи
Контрольное поле постоянной длины 02305nam a2200457 c 4500
001 - Контрольный номер
Контрольное поле vtls000056981
005 - Дата корректировки
Контрольное поле 20210909190554.0
008 - Кодируемые данные
Контрольное поле постоянной длины 120826c19919999ru a f b 000 0 rus d
020 ## - Индекс ISBN
ISBN 5020068179
035 ## - Системный контрольный номер
Системный контрольный номер 0059-73660
035 ## - Системный контрольный номер
Системный контрольный номер (RU-ToGU)ru92-010278
040 ## - Источник каталогиз.
Служба первич. каталог. RKP
Код языка каталог. rus
Служба, преобразующая запись RU-ToGU
Организация, изменившая запись RU-ToGU
Правила каталог. PSBO
080 ## - Индекс УДК
Индекс УДК 621.382.049.77(082)
080 ## - Индекс УДК
Индекс УДК 538.975(082)
084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК
Индекс другой классификации/Индекс ББК 47.13
Источник индекса rugasnti
245 10 - Заглавие
Заглавие Микроструктурирование тонких пленок
Ответственность Отв. ред. А. А. Орликовский
260 ## - Выходные данные
Место издания М.
Издательство Наука
Дата издания 1991
300 ## - Физическое описание
Объем 110,[2] с.
Иллюстрации/тип воспроизводства ил.
Размеры 24 см
490 1# - Серия
Заглавие серии Труды ФТИАН; АН СССР, Физ.-технол. ин-т
№ тома т. 20
504 ## - Библиография
Библиография Библиогр. в конце ст.
650 #7 - Тематические рубрики
Основная рубрика Микролитография.
Источник рубрики rurkp
9 (RLIN) 108142
650 #7 - Тематические рубрики
Основная рубрика Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство.
Источник рубрики rurkp
9 (RLIN) 108143
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова тонкие пленки.
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова литография субмикронная
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова физика тонких пленок.
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова распыление тонких пленок
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова анализ тонких пленок
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова масс-спектральный анализ.
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова спектроскопия ионно-фотонная
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова математическое моделирование процессов.
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кинетика отказов
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова миграционные модели
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова транзисторы полевые арсенидгаллиевые
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова электрические характеристики.
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Орликовский, Александр Александрович
Дата 1938-
Роль лиц редактор
Код отношения edt
9 (RLIN) 59562
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Валиев, Камиль Ахметович.
Роль лиц редактор
Код отношения edt
9 (RLIN) 108144
810 2# - Заголовок добавочной библ.записи на серию — наименование организации
Наименование организации Физико-технологический институт (Москва)
Заглавие работы Труды ФТИАН
9 (RLIN) 108145
852 4# - Местонахождение единицы хранения
Код организации-хранителя RU-ToGU
Код страны ru
999 ## - Системные контрольные номера (Koha)
biblionumber (Koha) 1182
Holdings
Не выдается Отсутствует на месте Поврежден Исходное место хранения Местоположение Дата поступления Цена Всего выдач Расстановочный шифр Штрих-код Номер копии Класс экземпляра Инвентарный номер (дополнительно)
      Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 02/04/2021 2.90   1-759532 13820000122563 1 Выдается в читальный зал  
      Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 02/04/2021 25.00   1-790835 13820000290597 2 1 месяц  
      Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 02/04/2021 6.50   1-779857 13820000874858   Выдается в читальный зал 1-779857