Normal view
MARC view
Зависимость электрических характеристик тонкопленочных кремниевых структур, чувствительных к водороду, от режимов термического отжига В. И. Балюба, В. Ю. Грицык, Т. А. Давыдова [и др.]
Material type: ArticleSubject(s): сложные полупроводники | полупроводниковые наноструктуры | термический отжиг | чувствительность | водород | МДП-структуры | туннельные диоды | газовые сенсоры | тонкие пленки | кремниевые структуры | экспериментальные исследования | труды ученых ТГУ In: Современные проблемы физики и высокие технологии : материалы Международной конференции, посвященной 125-летию ТГУ, 75-летию СФТИ и 50-летию РФФ ТГУ 29 сентября - 4 октября 2003 г. С. 163-165No physical items for this record
Библиогр.: 3 назв.
There are no comments on this title.