Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (5)
-
Authors
- Коркишко, Юрий Николаевич (2)
- Акуленок, Марина Викторовна (1)
- Андреев, Владимир Михайлович (1)
- Асеев, Александр Леонидович (1)
- Барыбин, Анатолий Андреевич (1)
- Ваулин, Юрий Дмитриевич (1)
- Воротынцев, Владимир Михайлович (1)
- Громов, Дмитрий Геннадьевич (1)
- Райнова, Юлия Петровна (1)
- Скупов, Владимир Дмитриевич (1)
- Стенин, Сергей Иванович (1)
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (4)
- Абонемент (3)
- Абонемент. Депозитарий (3)
- Библиотека РФФ (2)
- Читальный зал 5 (1)
-
Item types
- 6 месяцев [x]
- Выдается в читальный зал (4)
- 1 месяц (2)
- 1 неделя (1)
- Выдается по месту хранения (1)
-
Topics
- микроэлектроника [x]
- полупроводниковые материалы (3)
- учебные пособия для вузов (3)
- интегральные микротехнологии (2)
- легирование полупроводников (2)
- микроэлектроника, методы рентгенолитографические (2)
- микроэлектроника, методы фотолитографические (2)
- микроэлектроника, технологические процессы (2)
- монокристаллы (2)
- наноэлектроника (2)
- наноэлектроника, технологические процессы (2)
- пленки тонкие, легирование термодиффузионное (2)
- пленки тонкие, распыление ионно-плазменное (2)
- подложки, поверхности (2)
- подложки, травление плазмохимическое (2)
- подложки, удаление вещества с поверхности (2)
- Интегральные схемы (1)
- Нанотехнология (1)
- Полупроводниковые соединения (1)
- Применение в радиотехнике (1)
- Производство (1)
- Структура (1)
- Физические основы (1)
- Электроника (1)
- абразивная обработка (1)
- германий (1)
- германий-арсенид галлия (1)
- гетероструктуры (1)
- дефектообразование в приборных структурах (1)
- дефекты в кристаллах, классификация (1)
- диоксид кремния, осаждение (1)
- дислокации в полупроводниках (1)
- дислокационная структура кристаллов (1)
- диффузия атомов (1)
- диэлектрические материалы (1)
- диэлектрические пленки, методы формирования (1)
- ионная имплантация (1)
- квантоворазмерные структуры (1)
- контрольные вопросы (1)
- кремний (1)
- кремний на диэлектрике, структуры (1)
- кристаллические решетки (1)
- кристаллы бездислокационные (1)
- литография в микроэлектронике (1)
- материалы микроэлектроники (1)
- материалы наноэлектроники (1)
- межфазные взаимодействия (1)
- металлы, обработка термическая стабилизирующая (1)
- микрогетерогенные системы неравновесные, взаимодействие межфазное (1)
- микротехнологии в микросистемной технике (1)
- Show more
- Show less