Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (6)
- Сериальные издания (2)
-
Authors
- Коркишко, Юрий Николаевич (2)
- Акуленок, Марина Викторовна (1)
- Андреев, Владимир Михайлович (1)
- Асеев, Александр Леонидович (1)
- Барыбин, Анатолий Андреевич (1)
- Ваулин, Юрий Дмитриевич (1)
- Громов, Дмитрий Геннадьевич (1)
- Ицкович, Вульф Моисеевич (1)
- Константинова, Галина Серафимовна (1)
- Лозовский, Владимир Николаевич (1)
- Лозовский, Сергей Владимирович (1)
- Райнова, Юлия Петровна (1)
- Стенин, Сергей Иванович (1)
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (8)
- Абонемент (3)
- Абонемент. Депозитарий (2)
- Читальный зал 5 (1)
- Библиотека РФФ (1)
- Книгохранилище-11 (1)
- Show more
- Show less
-
Item types
-
Topics
- полупроводниковые материалы (7)
- микроэлектроника [x]
- учебные пособия для вузов (5)
- оптоэлектроника (3)
- интегральные микротехнологии (2)
- микроэлектроника, методы рентгенолитографические (2)
- микроэлектроника, методы фотолитографические (2)
- микроэлектроника, технологические процессы (2)
- монокристаллы (2)
- нанолитография (2)
- наноструктуры (2)
- нанотехнологии (2)
- наноэлектроника (2)
- наноэлектроника, технологические процессы (2)
- пленки тонкие, легирование термодиффузионное (2)
- пленки тонкие, распыление ионно-плазменное (2)
- подложки, поверхности (2)
- подложки, травление плазмохимическое (2)
- подложки, удаление вещества с поверхности (2)
- твердотельная электроника (2)
- Интегральные схемы (1)
- Нанотехнология (1)
- Полупроводниковые соединения (1)
- Применение в радиотехнике (1)
- Производство (1)
- Структура (1)
- Физические основы (1)
- Электроника (1)
- абразивная обработка (1)
- вакуумная электроника (1)
- высшее техническое образование (1)
- германий (1)
- германий-арсенид галлия (1)
- гетеропереходы (1)
- гетероструктуры (1)
- движение зарядов (1)
- диоды (1)
- диоксид кремния, осаждение (1)
- дислокации в полупроводниках (1)
- диффузия атомов (1)
- диэлектрики (1)
- диэлектрические материалы (1)
- диэлектрические пленки, методы формирования (1)
- изготовление микросхем (1)
- интегральные микросхемы (1)
- ионная имплантация (1)
- история наноэлектроники (1)
- квантовая физика (1)
- квантовые ямы (1)
- конденсаторы (1)
- Show more
- Show less