Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (2)
-
Authors
-
Locations
- Читальный зал 5 (2)
- Абонемент. Депозитарий (1)
- Библиотека РФФ (1)
-
Item types
- Выдается по месту хранения (2)
- 1 неделя (1)
- 6 месяцев (1)
-
Topics
- дефектообразование в приборных структурах (2)
- дефекты в кристаллах, классификация (2)
- квантоворазмерные структуры (2)
- кремний на диэлектрике, структуры (2)
- кристаллы бездислокационные (2)
- микротехнологии в микросистемной технике (2)
- микроэлектроника (2)
- наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание (2)
- нанотехнологии в микросистемной технике (2)
- осаждение диэлектрических слоев (2)
- осаждение тонких пленок [x]
- радиационно-термические обработки (2)
- высокочистые материалы для электронной техники (1)
- глубокая очистка (1)
- дислокационная структура кристаллов (1)
- дистилляционные методы (1)
- диффузионное легирование полупроводников (1)
- ионно-лучевое легирование полупроводников (1)
- контроль качества подложек (1)
- контрольные вопросы (1)
- кристаллизационные методы (1)
- легирование полупроводников (1)
- литографические процессы (1)
- литография в микроэлектронике (1)
- материалы микроэлектроники (1)
- материалы микроэлектроники, структурные дефекты (1)
- материалы наноэлектроники (1)
- наноэлектроника (1)
- полирование полупроводников (1)
- полупроводники, технология получения (1)
- полупроводниковые материалы (1)
- полупроводниковые материалы высокочистые, технологии получения (1)
- полупроводниковые подложки, обработка (1)
- полупроводниковые подложки, обработка абразивная (1)
- полупроводниковые подложки, обработка химическая (1)
- приборные структуры, технологии формирования (1)
- приборные структуры, формирование (1)
- радиоэлектронная аппаратура (1)
- собственные точечные дефекты (1)
- технологические схемы (1)
- учебные пособия для вузов (1)
- химические методы (1)
- химическое травление полупроводников (1)
- электронные структуры, технологии изготовления (1)
- электрохимические методы (1)
- эпитаксиальные методы (1)
- эпитаксия жидкофазная, метод (1)
- эпитаксия газофазная, метод (1)
- эпитаксия молекулярно-лучевая, метод (1)
- Show more
- Show less