Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (2)
-
Authors
-
Locations
- Абонемент (2)
- Книгохранилище (2)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (2)
- 6 месяцев [x]
-
Topics
- интегральные микротехнологии (2)
- микроэлектроника, методы рентгенолитографические (2)
- микроэлектроника, методы фотолитографические [x]
- микроэлектроника, технологические процессы (2)
- наноэлектроника, технологические процессы (2)
- пленки тонкие, легирование термодиффузионное (2)
- пленки тонкие, распыление ионно-плазменное (2)
- подложки, поверхности (2)
- подложки, травление плазмохимическое (2)
- подложки, удаление вещества с поверхности (2)
- учебные пособия для вузов (2)
- Интегральные схемы (1)
- Нанотехнология (1)
- Применение в радиотехнике (1)
- Производство (1)
- абразивная обработка (1)
- диоксид кремния, осаждение (1)
- диэлектрические материалы (1)
- диэлектрические пленки, методы формирования (1)
- металлы, обработка термическая стабилизирующая (1)
- микрогетерогенные системы неравновесные, взаимодействие межфазное (1)
- микроэлектроника, методы электронографические (1)
- микроэлектроника, методы электронолитографические (1)
- микроэлектроника, технология воздействия электрических полей (1)
- микроэлектроника, технология воздействия электромагнитного излучения интенсивного (1)
- наноэлектроника, физико-химические процессы (1)
- нитрид кремния, осаждение (1)
- оптоэлектроника, технологические процессы (1)
- пленки металлические, нанесенеие (1)
- пленки оксидные (1)
- пленки тонкие, испарение вакуум-термическое (1)
- пленки тонкие, конденсация (1)
- пленки тонкие, осаждение вакуум-термическое (1)
- пленки тонкие, осаждение ионно-плазменное (1)
- пленки тонкие, распыление катодное (1)
- пленки тонкие, травление (1)
- подложки, вакуум-термическое испарение (1)
- подложки, окисление (1)
- подложки, перераспределение вещества (1)
- подложки, травление ионно-плазменное (1)
- подложки, травление ионно-химическое (1)
- подложки, травление ионное (1)
- подложки, травление плазменное (1)
- подложки, травление сухое (1)
- подложки, удаление вещества с поверхности вакуум-термическое (1)
- подложки, удаление вещества с поверхности механическое (1)
- подложки, удаление вещества с поверхности химическое (1)
- подложки, фазообразования гетерогенные (1)
- подложки, эпитаксия (1)
- полупроводники, легирование ионное (1)
- Show more
- Show less