Normal view
MARC view
Тонкие пленки Ta2O5 для конденсаторов в интегральных схемах на арсениде галлия А. В. Пятова, В. Г. Канаев, Л. Ф. Фотина, С. В. Смирнов
Material type: ArticleSubject(s): физика полупроводников | полупроводники | полупроводниковые приборы | тонкие пленки | электронные устройства | интегральные схемы | эпитаксиальные структуры | конденсаторы | арсенид галлия | экспериментальные исследования | полупроводниковые материалы In: Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции С. 326-329No physical items for this record
Библиогр.: 2 назв.
There are no comments on this title.