Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Your search returned 2 results.

1.
Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления В. О. Оскирко, А. Н. Захаров, А. П. Павлов [и др.]

by Захаров, Александр Николаевич | Павлов, Артем Павлович | Работкин, Сергей Викторович | Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Оскирко, Владимир Олегович.

Source: Известия высших учебных заведений. ФизикаMaterial type: Article Article; Format: electronic available online remote Online access: Click here to access online Availability: No items available :
2.
Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN А. С. Гренадёров, А. Н. Захаров, В. О. Оскирко [и др.]

by Гренадеров, Александр Сергеевич | Захаров, Александр Николаевич | Оскирко, Владимир Олегович | Сиделев, Дмитрий Владимирович | Оскомов, Константин Владимирович | Соловьев, Андрей Александрович.

Source: Известия высших учебных заведений. ФизикаMaterial type: Article Article; Format: electronic available online remote Online access: Click here to access online Availability: No items available :