Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа В. П. Демкин, С. В. Мельничук, Б. С. Семухин
Material type:
ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): водородосодержащая плазма | монокристаллический кремний | нанослои | экстремальное изменение удельного сопротивления | наноструктурные комплексы Si-HGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online
In:
Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 11/2. С. 33-36Abstract: Приведены результаты исследований образования наноструктурных комплексов водород – кремний в приповерхностном слое монокристаллического кремния при его обработке в водородосодержащей плазме. С помощью ИК- и оже-спектроскопии показано, что только при малых временах обработки происходит образование нанослоев и, как следствие, экстремальное изменение удельного сопротивления приповерхностного слоя.
Библиогр.: 10 назв.
Приведены результаты исследований образования наноструктурных комплексов водород – кремний в приповерхностном слое монокристаллического кремния при его обработке в водородосодержащей плазме. С помощью ИК- и оже-спектроскопии показано, что только при малых временах обработки происходит образование нанослоев и, как следствие, экстремальное изменение удельного сопротивления приповерхностного слоя.
There are no comments on this title.