Normal view
MARC view
- статьи в журналах
статьи в журналах (Термин жанра/формы)
Machine generated authority record.
Work cat.: (RU-ToGU): Демкин, Владимир Петрович 1950- 958355, Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа