Normal view
MARC view
Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников Б. Д. Луфт, В. А. Перевощиков, Л. Н. Возмилова и др. ; Под ред. Б. Д. Луфт
Material type:
TextPublication details: М. Радио и связь 1982Description: 137 с. илSubject(s): поверхности полупроводников | химико-механическое травление | химико-динамическое травление | электрохимическое травление | фотохимическое травление | фотоэлектрохимическое травление | плазмохимическое травление | монокристаллические подложки | кремний | германий | травление полупроводников | препарирование кристаллов | эпитаксиальные структуры | полупроводниковые материалы | полупроводниковые подложки | химическое полирование | анизотропное травление
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-478515к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000757052 | ||
| 1 месяц | Книгохранилище | 1-484973 (Browse shelf (Opens below)) | 1 | Available | 13820000440276 |
Библиогр.: с. 129-135
There are no comments on this title.