Normal view
MARC view
Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников (Record no. 185199)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02220nam a2200433 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000181536 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210922002915.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 040219s1982 ru a f b 000 0 rus d |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | 0186-16560 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| Правила каталог. | PSBO |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.382.049.77.002 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников |
| Ответственность | Б. Д. Луфт, В. А. Перевощиков, Л. Н. Возмилова и др. ; Под ред. Б. Д. Луфт |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | М. |
| Издательство | Радио и связь |
| Дата издания | 1982 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 137 с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | ил. |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: с. 129-135 |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | поверхности полупроводников. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | химико-механическое травление. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | химико-динамическое травление. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | электрохимическое травление. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | фотохимическое травление. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | фотоэлектрохимическое травление. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | плазмохимическое травление. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | монокристаллические подложки. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | кремний. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | германий. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | травление полупроводников. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | препарирование кристаллов. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | эпитаксиальные структуры. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводниковые материалы. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводниковые подложки. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | химическое полирование. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | анизотропное травление. |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Луфт, Берта Давыдовна. |
| 9 (RLIN) | 265300 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Перевощиков, Виктор Александрович. |
| 9 (RLIN) | 265301 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Возмилова, Лидия Николаевна. |
| 9 (RLIN) | 167753 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Полочный индекс | 1-484973 |
| Авторский знак | 621.3 |
| Код страны | ru |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 185199 |
| Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра | Номер копии |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 03/04/2021 | 0.50 | 1-478515к | 13820000757052 | Выдается в читальный зал | |||||
| Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 03/04/2021 | 0.50 | 1-484973 | 13820000440276 | 1 месяц | 1 |