Normal view
MARC view
Базовые технологии микро- и наноэлектроники (Record no. 460467)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 03939cam a2200697 c 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000669567 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210922103348.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 191113s2018 ru ac b 000 0drus |
| 020 ## - Индекс ISBN | |
| ISBN | 13820000993296 |
| 020 ## - Индекс ISBN | |
| ISBN | 9785392282081 |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000669567 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RuMoRKP |
| Код языка каталог. | rus |
| Организация, изменившая запись | RuMoRGB |
| -- | RU-ToGU |
| 041 0# - Код языка издания | |
| Код языка текста | rus |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.315.592:621.382.049.77(075.8) |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.315.592-022.532:621.382-022.532(075.8) |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.315.592:548.4/5(075.8) |
| 084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК | |
| Индекс другой классификации/Индекс ББК | З844.1-06я73-1 |
| Источник индекса | rubbk |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Воротынцев, Владимир Михайлович |
| 9 (RLIN) | 98561 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Базовые технологии микро- и наноэлектроники |
| Продолж. заглавия | учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" |
| Ответственность | В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | Москва |
| Издательство | Проспект |
| Дата издания | 2018 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 519 с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | ил., табл. |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр. в конце гл. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | учебные пособия для вузов |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | радиоэлектронная аппаратура. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | микроэлектроника |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | высокочистые материалы для электронной техники |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | глубокая очистка |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | химические методы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | электрохимические методы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | дистилляционные методы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | кристаллизационные методы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | технологические схемы. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводниковые подложки, обработка |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводниковые материалы. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | контроль качества подложек |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводники, технология получения |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | химическое травление полупроводников |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полирование полупроводников |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | приборные структуры, формирование |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | эпитаксиальные методы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | осаждение диэлектрических слоев |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | литографические процессы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | диффузионное легирование полупроводников |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | ионно-лучевое легирование полупроводников |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | осаждение тонких пленок |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | радиационно-термические обработки |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | кремний на диэлектрике, структуры |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | квантоворазмерные структуры |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | микротехнологии в микросистемной технике |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | нанотехнологии в микросистемной технике |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | материалы микроэлектроники, структурные дефекты |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | дефекты в кристаллах, классификация |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | кристаллы бездислокационные |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | дефектообразование в приборных структурах |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Скупов, Владимир Дмитриевич |
| 9 (RLIN) | 106190 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Полочный индекс | 621.3 |
| Авторский знак | В758 |
| Код страны | ru |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | учебник |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 460467 |
| Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека ТГУ | Читальный зал 5 | 05/04/2021 | 823.00 | 621.3 В758 | 13820000993296 | Выдается по месту хранения |