| 000 | 01172naa a2200253 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000792368 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20240227171941.0 | ||
| 008 | 210122s1998 ru f 100 0 rus d | ||
| 035 | _ato000792368 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
| 100 | 1 |
_aИвашковская, И. С. _9509468 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aМатематическое моделирование процессов травления _cИ. С. Ивашковская, Т. И. Данилина |
| 653 | _aфизика полупроводников | ||
| 653 | _aфизика диэлектриков | ||
| 653 | _aмикроэлектроника | ||
| 653 | _aтравление | ||
| 653 | _aматематическое моделирование | ||
| 700 | 1 |
_aДанилина, Тамара Ивановна _9353616 |
|
| 773 | 0 |
_tФизика твердого тела : тезисы докладов VI Российской научной студенческой конференции _dТомск, 1998 _gС. 88 _w0048-48860 |
|
| 852 | _aRU-ToGU | ||
| 908 | _aстатья | ||
| 999 | _c478318 | ||