000 01452naa a2200289 c 4500
001 vtls000580297
003 RU-ToGU
005 20240216125200.0
008 170718s2014 ru f 000 0 rus d
035 _ato000580297
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
100 1 _aАлмаев, Алексей Викторович
_994842
245 1 0 _aВлияние влажности окружающей среды на проводимость сенсоров водорода на основе тонких пленок диоксида в режиме термоциклирования
_cА. В. Алмаев
504 _aБиблиогр.: 4 назв.
653 _aмикроэлектроника
653 _aнаноэлектроника
653 _aтруды ученых ТГУ
653 _aвлажность
653 _aполупроводниковые сенсоры
653 _aтонкие пленки
653 _aтермоциклирование
653 _aгазовые сенсоры
773 0 _tАктуальные проблемы радиофизики : труды Международной молодежной научной школы, Томск, 9-12 октября 2014 г.
_dТомск, 2014
_gС. 72-74
_z9785895035481
_w007852363
852 _aRU-ToGU
908 _aстатья
999 _c424481