000			03060nam a2200577 i 4500
001			vtls000521417
003			RU-ToGU
005			20230319202509.0
008			160120s1990 ru a f 000 0 rus d
020			_a5070011766
035			_a(RuMoRKP)ru89-83747
035			_a(RuMoRGB)001510896
040			_aRKP _brus _ePSBO _dRU-ToGU
041	0		_arus
080			_a539.211(02.063)
080			_a621.382.049.77:538.971(02.063)
084			_a29.19 _2rugasnti
084			_a22.37+32.844.1 _2rubbkm
084			_a16.4.11 _2rueskl
100	1		_aЛитовченко, Владимир Григорьевич _9222424
245	1	0	_aФизика поверхности и микроэлектроника _cВ. Г. Литовченко, В. Г. Попов ; [ред. Кутузова К. А.]
260			_aМосква _bЗнание _c1990
300			_a61, [2] с. _bил. _c20 см
490	1		_aНовое в жизни, науке, технике. Физика _v1990/1
653			_aфизика поверхности твердых тел
653			_aфизика поверхности полупроводников
653			_aсверхрешетки поверхностные
653			_aкристаллические структуры поверхности
653			_aтермодинамические свойства поверхности твердого тела
653			_aполупроводниковые структуры
653			_aповерхностные явления в полупроводниках
653			_aионная имплантация (физика поверхности)
653			_aлазерный отжиг
653			_aгеттерирование (микроэлектроника)
653			_aфотоэлектрические явления в полупроводниках (физика поверхности)
653			_aлюминесценция полупроводниковых слоев тонких
653			_aмикроэлектроника, технология поверхностная
653			_aповерхности полупроводниковых приборов
653			_aэпитаксиальные структуры
653			_aтуннелирование (полупроводники)
653			_aЭлектроны горячие
653			_aоптоэлектронные приборы
653			_aсверхпроводящие пленки
653			_aсверхпроводимость высокотемпературная
653			_aмикроэлектроника молекулярная
700	1		_aПопов, Валентин Георгиевич _9394015
700	1		_aКутузова, К. А. _4edt _9164790
830		0	_aНовое в жизни, науке, технике _pФизика _9110796
852	4		_aRU-ToGU _nru
999			_c384307