000 02408nam a2200373 c 4500
001 vtls000500872
003 RU-ToGU
005 20230606174551.0
008 150311s1988 ru a f b 000 0 rus d
035 _ato000500872
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
080 _a621.315.592:620.179.163
100 1 _aДетинко, Михаил Владимирович
_9424468
245 1 0 _aФизические основы неразрушающего СВЧ-резонаторного метода локального контроля электрофизических параметров полупроводников
_cМ. В. Детинко, Ю. В. Медведев, А. С. Петров ; Сиб. физ.-техн. ин-т им. В. Д. Кузнецова при Том. гос. ун-те
260 _aТомск
_bИздательство Томского университета
_c1988
300 _a29 с.
_bил.
490 1 _aПрепринт
_vn 3
504 _aБиблиогр.: с. 27-29
653 _aполупроводниковые материалы
653 _aэлектрофизические параметры полупроводников, измерение
653 _aрезонаторы измерительные, теория
653 _aрезонаторы измерительные, конструкции
653 _aдиэлектрическая проницаемость полупроводников на СВЧ
653 _aпоглощение электромагнитного поля полупроводниками
653 _aпреобразователи измерительные радиоволновые
653 _aизмерительные приборы неразрушающего контроля
700 1 _aМедведев, Юрий Васильевич
_d1943-
_992438
700 1 _aПетров, Алексей Сергеевич
_d1938-1996
_969066
710 2 _aСибирский физико-технический институт им. В. Д. Кузнецова (Томск)
_976047
710 2 _aТомский государственный университет.
_953646
830 0 _aПрепринт
_9424469
852 4 _aRU-ToGU
_h621.3
_iД382
_nru
999 _c368012